في الآونة الأخيرة، افتتح الاجتماع السنوي الحادي عشر لمعدات أشباه الموصلات في ووشي، وعقد المنتدى الفرعي للمؤتمر "الأجهزة الجديدة والعمليات الجديدة لتعزيز ابتكار وتطوير مواد جديدة ومنتدى المعدات الجديدة" في نفس اليوم، وبعد ذلك "المنبع" وتم عقد رابط العرض والطلب في المصب. وقدّم الضيوف تطبيق الذكاء الاصطناعي في البحث وتطوير المواد شبه الموصلة؛ في الوقت نفسه، في عملية تعزيز التوطين، نفذت صناعة أشباه الموصلات تعاونًا متعمقًا في سلسلة التوريد، وشكلت قاعدة بيانات، وشكلت رابطًا فعالاً من التصميم والاختبار إلى التصنيع، وتسريع الابتكار الأساسي لـ "رقبة المربى" "التكنولوجيا مثل المعدات والمواد.

يعمل الذكاء الاصطناعي على تسريع البحث والتطوير في مجال أشباه الموصلات،

وقد ساهم ابتكار المواد في تعزيز التطور النشط لصناعة الرقائق. وفقًا لتحليل المؤسسات الدولية الموثوقة، تساهم المواد بأكثر من 60% في ابتكار صناعة الدوائر المتكاملة. وفي عام 2022، وصل حجم السوق العالمية لمواد الدوائر المتكاملة إلى 69.8 مليار دولار، واحتلت الصين المرتبة الثانية، بمتوسط ​​حجم سوق سنوي يبلغ 13 مليار دولار وحصة سوقية تبلغ 19%.

وقال فنغ لي إن تطوير المواد ساهم في دفع صناعة الرقائق بحوالي عشرة أضعاف، بالإضافة إلى عشرات أضعاف سوق أنظمة التطبيقات، لكن معدل التوطين الحالي للمواد شبه الموصلة يبلغ حوالي 25%، منها الغاز السائب، الذي يستهدف التوطين المعدل مرتفع، مقارنة بمقاوم الضوء، ولوحة القناع ومعدل التوطين الآخر منخفض.

مع ترقية الشريحة من هيكل مسطح إلى هيكل ثلاثي الأبعاد، تعمل الأجهزة الجديدة والعمليات الجديدة على تعزيز الابتكار في المواد، ويمكن للقدرات القوية للذكاء الاصطناعي في تحليل البيانات والتعلم الآلي تسريع عملية فحص المواد وتصميمها، وبالتالي تقليل دورة البحث والتطوير والتكلفة بشكل كبير، وسيساعد أيضًا في البحث والتطوير والابتكار في مجال مواد أشباه الموصلات المحلية.

وفقًا للتقارير، في الوقت الحاضر، تم تطبيق مكتبة الطباعة الحجرية الحاسوبية cuLitho التي طورتها NVIDIA على معدات أشباه الموصلات الدولية، ومصنعي أشباه الموصلات، وما إلى ذلك، لتسريع تصميم الرقائق وتطوير إنتاج عملية 2 نانومتر؛ قامت شركة LAM Research بتسريع عملية حفر السيليكون البلوري العميق من خلال الذكاء الاصطناعي، كما استخدمت شركة IBM أيضًا الذكاء الاصطناعي لإجراء فحص عكسي للمواد وتصميم المواد المخصصة والتصنيع.

وقال فنغ لي إن معهد شنغهاي لمواد الدوائر المتكاملة استخدم الذكاء الاصطناعي لتسريع تصميم العمليات وتحسين كفاءة البحث والتطوير في حساب مواد التلميع، وتصميم المواد المطابقة للركيزة الضوئية واختيار مواد الترشيح.

ووفقا للتقارير، يستخدم معهد شنغهاي لمواد الدوائر المتكاملة حسابات المواد على نطاق واسع ويجمع البيانات التجريبية لتشكيل بنك جينات مواد الدوائر المتكاملة؛ في مارس 2023، تم إنشاء اتحاد ابتكار مواد الدوائر المتكاملة.

"قاعدة البيانات هي أحد العناصر الثلاثة الرئيسية للذكاء الاصطناعي، وهي أعلى حتى من قوة الحوسبة والخوارزميات"، وأشار فنغ لي إلى أنه من خلال إنشاء اتحاد للابتكار المادي، وجمع عدد كبير من بيانات البحث والتطوير، وتسريع البحث والتطوير عملية التطوير من خلال التعلم الآلي والنمذجة التحليلية وغيرها من الوسائل.

يتطلب التصنيع المتطور الابتكار في المواد والمعدات

مع تطور الرقائق التناظرية وأشباه الموصلات المركبة وMEMS (الأنظمة الميكانيكية الإلكترونية)، يواجه توطين معدات ومواد الدوائر المتكاملة تحديات وفرصًا جديدة.

وقال ليو يون فنغ، مركز المنتجات الاستراتيجية لشركة Yuexin Semiconductor، إنه على الرغم من أن صناعة أشباه الموصلات في الصين حققت بعض التقدم في التوطين، إلا أنه لا تزال هناك فجوة معينة في مجال معدات أشباه الموصلات. بقدر ما يتعلق الأمر بعملية تصنيع الرقاقة التناظرية، معدات حفر السيليكون العميق، معدات التعبئة ذات نسبة العرض إلى الارتفاع العالية، معدات مكثف عزل الجهد العالي للغاية، آلة زرع الأيونات، معدات تنضيد الجرمانيوم، بالإضافة إلى بعض الغازات الخاصة، مقاوم الضوء، إلخ. .، وتعتمد أيضا على الواردات.

تعمل شركة Yuexin Semiconductor أيضًا على تعزيز عملية التوطين والتخطيط المتعمق في مجال إلكترونيات السيارات، مسترشدة بتطبيق محطات السيارات، وإقامة تعاون استراتيجي مع مختلف شركات تصنيع السيارات لإنشاء نموذج ربط من تصنيع الرقائق إلى الماكينة بأكملها. وفقًا لتخطيط الطاقة الإنتاجية لأشباه الموصلات لشركة Yuexin، تم وضع إجمالي الطاقة الإنتاجية لـ Yuexin I وII البالغة 45000 قطعة في الإنتاج بالكامل، وسيتم إطلاق المرحلة الثالثة في الربع الأول من عام 2024، وقد قامت Yuexin بصياغة معدل التوطين المعدات في كل مرحلة. في الوقت الحاضر، حققت Yuexin أكثر من 50% في الجانب المادي، وحقق هدف التوطين في جانب المعدات 40%.

وفي مجال أشباه الموصلات المركبة المتمثلة في كربيد السيليكون، يتزايد الطلب على الابتكار في المعدات والمواد المتطورة.

وأوضح هي تشونغ خه، مدير قسم تطوير وتقييم تكنولوجيا التصنيع في شركة شنغهاي جيتا لأشباه الموصلات المحدودة، أنه في الوقت الحاضر، لا تزال التكلفة الرئيسية لصناعة كربيد السيليكون تتركز في النهاية المادية. من أجل تحسين الإنتاج والكفاءة، بدأت الصناعة في تجربة التقطيع بالليزر وطرق تحضير صفائح كربيد السيليكون المركبة لزيادة الإنتاج، وقد طرحت العملية المقابلة متطلبات لمعدات التقطيع بالليزر، وتكنولوجيا ومعدات ربط الطبقة الذرية وفك الارتباط.

"2023 هو أن تكنولوجيا MOSFET الطائرة بدأت في توجيه عقدة تحويل MOSFET،" قال He Zhonghe، ابتكار هيكل جهاز كربيد السيليكون، تحتاج إلى استخدام تقنية حفر البلازما عالية الكثافة، وتقنية ALD (ترسيب الطبقة الذرية) لحل مشاكل العملية، داعيًا إلى المعدات المحلية والمواد وغيرها من الشركات المصنعة التغلب بنشاط.

تضع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة المتقدمة أيضًا متطلبات مبتكرة على معدات ومواد الدوائر المتكاملة.

وأشار الدكتور وانغ شينان، كبير الخبراء الفنيين في معهد شنغهاي لمواد الدوائر المتكاملة، إلى أنه بالمقارنة مع الدوائر المتكاملة، فإن الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة تتمتع بخصائص أكثر تنوعًا وتخصيصًا وتعقيدًا وغيرها، كما أن القدرة الإنتاجية لكل جهاز محدودة، وبالتالي فإن المرونة و التسامح مع المعدات عالية. بالإضافة إلى ذلك، في عملية تصنيع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة، يجب حل معالجة الركائز الهشة، ومعالجة الهياكل ذات نسبة العرض إلى الارتفاع العالية، والتحكم في توحيد سماكة الفيلم، الأمر الذي يتطلب استقرار واتساق المعدات والمواد بالإضافة إلى البرامج الداعمة. .

واقترح وانغ شينان أنه يمكن لمصنعي المعدات مواكبة الطلب والالتزام بالابتكار المستمر والاستثمار أكثر في مرحلة التحقق من المنتج والحصول على المزيد من البيانات لزيادة تحسين جودة المنتج واستقراره.

تعمل السلسلة الصناعية على تسريع الابتكار في القاع

في سياق تصاعد مخاطر سلسلة التوريد الحالية، ارتبط مصنعو معدات أشباه الموصلات والمواد المحلية ارتباطًا وثيقًا بالسلسلة الصناعية والموردين، مما أدى إلى توسيع سلسلة الابتكار لتشمل مجالات الطبقة الأساسية مثل قطع الغيار والمواد الأساسية. مواد.

أشار الدكتور لو تشيبنغ، نائب رئيس شركة Tuojing Chuangyi (Shenyang) Semiconductor Co., LTD.، إلى أنه من أجل الحفاظ على سلامة سلسلة التوريد، لم تلتزم Tuojing فقط بتطوير معدات أشباه الموصلات الجديدة في السنوات الأخيرة، بل ولكنها ركزت أيضًا على توطين المكونات الأساسية لتحسين استقرار سلسلة التوريد. وفقًا للتقارير، يغطي توطين المكونات الأساسية في Tuojing 13 فئة وعشرات مراحل المنتج، ويمكن أن يصل معدل توطين معدات الإنتاج الضخم للشركة إلى 90%، كما أن معدل توطين مشاريع البحث والتطوير الجديدة أعلى.

"في تطوير المكونات الأساسية، لا تحتاج منتجاتنا إلى تلبية احتياجات المعدات وظيفيًا فحسب، بل تحتاج أيضًا إلى التركيز على التكرار والجودة والموثوقية على المدى الطويل." وقال لو تشيبنغ إن الشركة تعمل بشكل وثيق مع الموردين في جميع أنحاء سلسلة التوريد لإنشاء نظام ثابت لمراقبة الجودة. بالإضافة إلى ذلك، في مرحلة التطوير والتصميم، ستناقش Tuojing عن كثب مواصفات المنتج ووظائفه وموثوقيته والمؤشرات الأخرى مع الشركاء، بدءًا من المشروع وحتى تكاليف الإنتاج الضخم، لتحقيق "الفوز" وتحسين الاختبار. الرابط، والانتباه إلى مراقبة الجودة في الإنتاج الضخم في عملية التصنيع، وتحسين موثوقية المنتجات المحلية وغيرها من المؤشرات.

كمورد محلي لأهداف الرش النقية، توسعت شركة Jiangfeng Electronics من المواد الإلكترونية إلى الأجزاء الدقيقة لأشباه الموصلات والمواد الأساسية ذات الصلة. وفي عام 2018، أنشأت الشركة قسمًا لقطع الغيار، والذي يشكل الآن ست قواعد إنتاج لأكثر من 700 جهاز وفريق تصنيع مكون من 1600 شخص، يخدم حوالي 120 عميل إنتاج.

وقال بيان يي جون، نائب المدير العام لشركة جيانغفنغ للإلكترونيات، إنه منذ عام 2016، قامت الولايات المتحدة واليابان بتحديث الرقابة على أشباه الموصلات في الصين، مما أدى إلى تكثيف الضغط على سلسلة التوريد المحلية وتعزيز توطين الأجزاء في الصين. في الوقت الحاضر، وصل معدل توطين الأجزاء الميكانيكية إلى أكثر من 50%، وفي مجالات أخرى مثل البصريات، يكون معدل التوطين منخفضًا، كما أن لديها إمكانات تطوير كبيرة.

"جوهر الأجزاء أو حل مشكلة المواد الرئيسية"، قال نائب المدير العام لشركة جيانغ فنغ للإلكترونيات بياني يونيو، إن شركة جيانغ فنغ للإلكترونيات تلعب دور "الشركة المصنعة للتوطين"، والشركة في تخطيط الأجزاء، ولكن أيضًا في التخطيط توطين المواد الخام الأساسية، على أمل البدء من الأجزاء، من المنبع إلى المصب لدعم سلسلة التوريد المحلية بشكل كامل.

السلسلة الصناعية لدلتا نهر اليانغتسى متكاملة بعمق

باعتبارها مدينة رئيسية لتطوير الدوائر المتكاملة في البلاد، بدأت صناعة أشباه الموصلات في منطقة دلتا نهر اليانغتسي في المساهمة والتعاون مع موارد المنبع والمصب في نهر اليانغتسى. سلسلة صناعية .

في هذا المؤتمر، قدم قوه ييوو، الأمين العام لجمعية صناعة الدوائر المتكاملة في شنغهاي، في كلمته أن جمعية صناعة الدوائر المتكاملة في شنغهاي ملتزمة بتعزيز التكامل العميق لمنطقة دلتا نهر اليانغتسى، وتسريع تطوير صناعة أشباه الموصلات، مع إيلاء اهتمام خاص لتكامل الموارد الأولية والنهائية لسلسلة صناعة الدوائر المتكاملة، وتعزيز المشاركة والتعاون، ودعوة جميع الأماكن للعب دور الموارد، واتخاذ التطبيق كمبادرة. العمل المشترك على بناء بيئة سلسلة توريد آمنة ومرنة.

وفقًا للإحصاءات، في عام 2022، تجاوز حجم صناعة الدوائر المتكاملة الوطنية 1.2 تريليون يوان، بزيادة قدرها 14.8%، بينما وصلت منطقة دلتا نهر اليانغتسى إلى أكثر من 750 مليار يوان، بزيادة قدرها 18%، وهو ما يمثل أكثر من 60% من البلاد. شنغهاي تمثل 22.3% من الإجمالي. كما قدم أيضًا إنجازات شركات معدات ومواد Shanghai IC في معدات المسار الأمامي ومعدات المسار الخلفي، وشدد على أهمية التطوير المنسق في المنبع والمصب.

"في الفترة من يناير إلى يونيو من هذا العام، استمرت صناعة معدات الدوائر المتكاملة في شنغهاي في النمو"، أشار قوه ييوو إلى أنه على الرغم من أن معظم قطاعات أشباه الموصلات شهدت انخفاضًا في المبيعات، إلا أن المعدات والمواد استمرت في مخالفة الاتجاه، حيث حققت مبيعات بلغت حوالي 15.4 مليار، وهو رقم قياسي عالمي. زيادة قدرها 27.3%.

قال تشين شو، الأمين العام لجمعية صناعة أشباه الموصلات في جيانغسو، إن ووشي، باعتبارها واحدة من نقاط الانطلاق المهمة لصناعة الدوائر المتكاملة المحلية، عززت باستمرار بناء سلسلة صناعة الدوائر المتكاملة، وركزت على تعزيز الروابط الرئيسية، و حققت إنجازات ملحوظة خلال ما يقرب من 40 عامًا من التطوير.

وفقًا للإحصاءات، ستحقق سلسلة صناعة الدوائر المتكاملة Wuxi قيمة إنتاج تبلغ 209.152 مليار يوان في عام 2022، بزيادة قدرها 15.2٪. حافظت مقاطعة جيانغسو أيضًا على نمو قوي في تصميم الدوائر المتكاملة والتصنيع والاختبار المغلق والجوانب الأخرى من إيرادات المبيعات، وهو ما يمثل 26.5٪ من النطاق الوطني، وخاصة أن صناعة الاختبار المغلق في جيانغسو تمثل أكثر من نصف النطاق الوطني.

وشدد تشين شو أيضًا على أهمية تكامل دلتا نهر اليانغتسي، وقال إن دلتا نهر اليانغتسي تحتاج إلى توحيد مستوى الدول المتقدمة في العالم والاحتياجات الاستراتيجية الوطنية الرئيسية، وتسريع تقسيم العمل الإقليمي والتعاون في مجال التكنولوجيا و ابتكار العمليات، واختراق مشكلة "الرقبة المزدحمة" في بناء نظام سلسلة التوريد للسلسلة الصناعية، وتعزيز صناعة الدوائر المتكاملة، وخاصة تطوير معدات جديدة ومواد جديدة إلى مستوى جديد.

في نهاية المنتدى، نظمت جمعية شنغهاي لصناعة الدوائر المتكاملة واتحاد ابتكار مواد الدوائر المتكاملة "اجتماع مطابقة العرض والطلب في المنبع والمصب"، 7 من شركات تصنيع الرقاقات الرائدة المحلية والتعبئة والاختبار وشركات المعدات والمنصات وأكثر من 50 شركات المعدات والمواد وقطع الغيار، في الموقع "التحام العرض والطلب وجهًا لوجه، وسلسلة تكميلية قوية من نقطة إلى نقطة"، قام مؤتمر التوفيق ببناء قنوات تشغيل بينية في المراحل الأولية والنهائية لمصنعي أشباه الموصلات لمساعدة الشركات على الوصول إلى التبادلات والتعاون، وحصاد الطلبات، وتعزيز التعاون في المنتجات، ودعم المشتريات.